반도체공정실험(pump system) 결과레포트입니다

반도체공정실험(pump system) 결과레포트입니다

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본문 1. 실험목적 - Pumping System의 작동 원리를 알아 본다. 2. 실험 장비 모습 간단하게 꾸민 pumping system 저진공펌프(로터리 펌프) 고진공펌프(터보펌프) 3. 작동 원리 실험실에서 사용하는 고진공 펌프의 종류에는 Turbo Pump, Cryo Pump, Diffusion Pump 3가지가 있다. Pumping System에서 기본 적으로 필요한 장비들은 저진공Pump와 고진공Pump 그리고 4개의 벨브단이 필요하다. Pumping System그림에 보이는 4개의 벨브는 모두 수동이다. 로터리 Pump를 작동시키면 진공도가 떨어지게 된다. 진공도가 떨어지고 있는 모습(아래 위로 저진공 게이지 두 개가 표시된다.) 게이지 - 그림에서 윗쪽에 표시된 저진공 게이지 : 컴팩트런 게이지1 (Pump진공이 얼마나 빠지나를 측정하는 게이지) - 그림에서 아래쪽에 표시된 저진공 게이지 : 컴팩트런 게이지2 (Chamber진공을 확인하는) 이 게이지는 러핑밸브를 지난 후 연결되어 있다. Pump와 Chamber 두 곳의 진공을 모두 확인 해야 한다. 로터리 펌프를 작동시킬 때 세 개의 밸브는 모두 잠겨 있는 상태이다. 1) Pump의 작동 하고 싶은 말 좀 더 업그레이드하여 자료를 보완하여, 과제물을 꼼꼼하게 정성을 들어 작성했습니다. 위 자료 요약정리 잘되어 있으니 잘 참고하시어 학업에 나날이 발전이 있기를 기원합니다 ^^ 구입자 분의 앞날에 항상 무궁한 발전과 행복과 행운이 깃들기를 홧팅 키워드 게이지, 저진공, 개의, 실험, 고진공, 로터리