기기분석 SEM & AFM

기기분석 SEM & AFM

[기기분석] SEM & AFM.pptx

목차 1.이론 및 원리 2.구조 및 기능 3.전처리 4.실험방법 5.전처리/실헝방법 6.결과해석 7.장단점 및 응용분야 본문 1.이론 및 원리 ★ SEM 시료에 입사된 전자빔의 상호작용으로 다음 3가지 종류의 신호가 발생된다. 후방산란전자 2차 전자 X선 형광 ★ AFM 주사탐침현미경 (SPM; scanning probe microscope) 탐침을 시료에 근접시켰을 때 바늘 끝이 느끼는 근접장 상호 작용을 이용하여 표면 형상뿐 아니라 다양한 물리적 특성을 검출하는 장치 AFM 원자힘현미경 atomic force microscope STM 주사터널링현미경 scanning tunneling microscope ★ Piezo force 특정 물질에 힘을 가해 변형을 주면 표면에 전압이 발생하고 반대로 전압을 걸면 소자가 이동하거나 힘이 발생하는 현상 키워드 기기분석, SEM, AFM, 기기, 분석